图形衬底复活技术
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图形衬底复活技术


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2英寸报废样品

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2英寸复活后


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4英寸报废样品

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4英寸复活后


由于图形化蓝宝石衬底（PSS）可以有效的改善晶体生长质量并提高LED器件光萃取效率，已经成为业内LED生长的主流衬底。然而，外延生长及芯片制作中，无可避免会出现废片现象。本公司利用高温气氛等技术手段，去除图形衬底上生长的GaN外延层，从而复活图形衬底，使之可以重新外延生长利用，为外延厂家废片库存问题提供解决方案。

使用复活衬底重新外延并制备的芯片测试结果显示，芯片质量和使用正常PSS没有差别，目前的成品率可以达到90%以上。对比效果见下表：

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