完美图形衬底复活技术
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完美图形衬底复活技术


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2英寸报废样品

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2英寸复活后


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4英寸报废样品

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4英寸复活后


由于图形化蓝宝石衬底(PSS)可以有效的改善晶体生长质量并提高LED器件光萃取效率,已经成为业内LED生长的主流衬底。然而,外延生长及芯片制作中,无可避免会出现废片现象。本公司结合北京大学的科研成果,利用高温气氛等技术手段,可以完全去除图形衬底上生长的GaN外延层,从而完美复活图形衬底,使之可以重新外延生长利用,为外延厂家废片库存问题提供完美的解决方案。

使用复活衬底重新外延并制备的芯片测试结果显示,芯片质量和使用正常PSS没有差别,目前的成品率可以达到90%以上。对比效果见下表:

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